薄膜厚度分布的测试

来源 :浙江大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fangzhang004
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本文介绍了两种非余弦分布的膜厚计算方法和两种基于金属法布里—珀罗滤光片的膜厚分布测试方法,并给出了一些计算和测试结果。
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