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期刊论文
薄膜厚度分布的测试
薄膜厚度分布的测试
来源 :浙江大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fangzhang004
【摘 要】
:
本文介绍了两种非余弦分布的膜厚计算方法和两种基于金属法布里—珀罗滤光片的膜厚分布测试方法,并给出了一些计算和测试结果。
【作 者】
:
顾培夫
【机 构】
:
浙江大学光仪系
【出 处】
:
浙江大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1989年3期
【关键词】
:
薄膜
厚度
分布
测试
Thickness distribuiton
Thin films.
【基金项目】
:
国家自然基金
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本文介绍了两种非余弦分布的膜厚计算方法和两种基于金属法布里—珀罗滤光片的膜厚分布测试方法,并给出了一些计算和测试结果。
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