【摘 要】
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Advanced Diamond Technologies（ADT）公司以研发工业、电子和机械应用金刚石膜而闻名，它研发出的新型金刚石涂层晶圆系列产品推动了MEMS和电子器件的发展。ADT公司的新产品包括
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Advanced Diamond Technologies（ADT）公司以研发工业、电子和机械应用金刚石膜而闻名，它研发出的新型金刚石涂层晶圆系列产品推动了MEMS和电子器件的发展。ADT公司的新产品包括绝缘金刚石（DOI）晶圆，该产品是ADT公司在硅晶圆上纯相位超纳米晶体金刚石（UNCD）蒸汽沉积制成的硅金刚石（DoSi）晶圆的扩展。
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