【摘 要】
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研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试。EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14μm,像元数2 048×2 048。在北京同步辐射装置光束线软X射线
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研究了EUV波段CCD相机及其空间分辨率测试。EUV波段相机由荧光屏、MCP像管、光锥和可见光CCD构成,CCD像元大小为14μm,像元数2 048×2 048。在北京同步辐射装置光束线软X射线光学实验束线站3W1B上,利用透射网栅法对相机进行了空间分辨率测试,结果显示这种结构的CCD相机在17.1 nm波长处,空间分辨率达到19μm,相当于极限分辨率为26 lp/mm。
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