【摘 要】
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基于微机电系统（MEMS）技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱（FAIMS）传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,中北大学电子与计算机科学技术学院,岛津分析技术研发上海有限公司
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基于微机电系统（MEMS）技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱（FAIMS）传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr（300nm/30nm）金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体（ICP）工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm&
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[我们不喜空谈,只按图索骥,求证真相。]——本刊编辑部不久前国家文物局颁布的《1949年后已故著名书画家作品限制出境鉴定标准(第二批)》(以下简称《标准》)在社会上引发了巨
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