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对光学曝光技术的主要进展、波前工程概念和实现光学超分辨的基本途径等进行了论述。
波前工程与光学超分辨
【摘 要】
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对光学曝光技术的主要进展、波前工程概念和实现光学超分辨的基本途径等进行了论述。
【机 构】
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电子工业部第十三研究所
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1998年3期
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