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压力对电弧源喷射微粒密度及膜沉积率的影响
压力对电弧源喷射微粒密度及膜沉积率的影响
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zx0755
【摘 要】
:
在2.7Pa 至2.7×10~(-2)Pa 氮压力范围,测量了不同压力下电弧源喷射的微粒密度及薄膜沉积速率的变化。随压力升高,微粒密度及膜沉积速率下降。利用 AES 和 SIMS 对不同压
【作 者】
:
张世良
陈鹏
【机 构】
:
兰州物理研究所,兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
1990年2期
【关键词】
:
真空镀膜
电弧镀
沉积速率
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在2.7Pa 至2.7×10~(-2)Pa 氮压力范围,测量了不同压力下电弧源喷射的微粒密度及薄膜沉积速率的变化。随压力升高,微粒密度及膜沉积速率下降。利用 AES 和 SIMS 对不同压力下形成的 TiN 膜及工作后的阴极表面进行了深度剖面分析。最后对实验结果进行了讨论。
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