利用同步辐射光刻进行三维微型结构的制作与应用

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【摘要】

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微机械、微机电系统(MEMS)的实用化对自由度大的三维加工方法提出了更高的要求.利用同步辐射(SR)X射线所具有的准直性、透过性的LIGA工艺,可以制作数十μm～数mm高的立体结构.

【作者】

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高晓萍

【出处】

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光机电信息

【发表日期】

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2001年9期

【关键词】

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MEMS 三维微型结构同步辐射光刻 LIGA工艺

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微机械、微机电系统(MEMS)的实用化对自由度大的三维加工方法提出了更高的要求.利用同步辐射(SR)X射线所具有的准直性、透过性的LIGA工艺,可以制作数十μm～数mm高的立体结构.因此,可望该工艺成为制作高性能微机械、MEMS的一种加工方法.该文介绍日本立命馆大学对LIGA工艺的研究现状与应用实例.

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