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针对LTCC激光划切机的光束传递系统,介绍了355nm固体激光的扩束、聚焦原理、系统装调与精密调焦方法。该方法适用于激光加工设备的激光光束传递系统搭建,简单实用。
激光划切机的光束传递系统设计
【摘 要】
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针对LTCC激光划切机的光束传递系统,介绍了355nm固体激光的扩束、聚焦原理、系统装调与精密调焦方法。该方法适用于激光加工设备的激光光束传递系统搭建,简单实用。
【机 构】
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中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年2期
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