【摘 要】
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在数字光刻照明系统中,利用复眼透镜对365 nm发光二极管（LED）进行了匀光设计,透镜阵列采用近六边形的排列方式,能基本覆盖圆形光。近六边形阵列相对于方形结构能减少无效透镜数
【基金项目】
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国家自然科学基金,61475037;2016广东省科技发展专项资金,2016B090918124~~
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在数字光刻照明系统中,利用复眼透镜对365 nm发光二极管（LED）进行了匀光设计,透镜阵列采用近六边形的排列方式,能基本覆盖圆形光。近六边形阵列相对于方形结构能减少无效透镜数量,能更有效地利用透镜发挥匀光效能.用软件分别仿真了近六边形、9×9方形透镜的照明系统,并对比了其照度图,结果表明使用近六边形阵列的照明系统照度更为均匀.用近六边形阵列设计的照明系统与数字微反射镜（DMD）、光刻镜头相结合,进行了2μm精度的数字光刻实验,其像面照度均匀,线条清晰.
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