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制备了一种基于MEMS工艺的定向天线.以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积.这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送.本文中的天线厚度为1.5 mm,可工作于10 GHz频段.这使得其易于与微系统集成.文中也给出了仿真及实验的结果,并介绍了天线的加工过程.
基于MEMS工艺的异性材料定向天线
【摘 要】
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制备了一种基于MEMS工艺的定向天线.以异性材料为基底的亚波长谐振腔结构有效降低了天线体积.这种天线可以用于要求高能量密度的微系统的能量传送.本文中的天线厚度为1.5 mm,
【机 构】
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上海交通大学微米纳米加工技术国家级重点实验室,同济大学物理系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2004年期
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