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在弯曲梁电热微驱动器原理的基础上，通过引入热膨胀系数更大的聚合物，提出了一种新型复合结构电热微驱动器。采用了ANSYS有限元分析软件，对其基本结构形式进行了系统的仿真分析，得到了一组初步优化的器件结构参数。仿真结果表明：新型电热微驱动器有更低的能耗和更大的位移。采用非硅表面微加工技术，成功制备了新型复合结构电热微驱动器。