【摘 要】
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采用退火和电子辐照相结合的复合工艺方法,对ZnGeP_2晶体进行生长后处理。采用傅里叶红外光谱仪(FTIR)和高阻仪(HRM)等,对经不同次序的复合工艺处理前后样品的红外透过率和电
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采用退火和电子辐照相结合的复合工艺方法,对ZnGeP_2晶体进行生长后处理。采用傅里叶红外光谱仪(FTIR)和高阻仪(HRM)等,对经不同次序的复合工艺处理前后样品的红外透过率和电阻率进行了测试。结果表明,采用先退火后电子辐照的复合处理工艺,样品的红外透过率能得到明显的提高。
The ZnGeP 2 crystals were grown and processed by a combination of annealing and electron irradiation. The infrared transmittance and resistivity of the samples before and after the composite process with different orders were tested by Fourier transform infrared spectrometer (FTIR) and high resistance meter (HRM). The results show that the infrared transmittance of the sample can be obviously improved by using the composite process of electron annealing after annealing first.
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