从扩散硅力敏传感器Claa41到智能传感器ST3000:访美国霍尼韦尔...

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaohe1025
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本文介绍了美国霍尼韦尔公司SSED的基本情况;介绍了扩散硅力敏传感器Class41型的基本参数和制备工艺;还介绍了智能传感器ST3000的制备工艺及在设计、性能方面与Class41型传感器的比较;由此提出对发展我国扩散硅力敏传感器的看法。
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