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采用镍基耐蚀合金新材质,设计制造多晶硅生产主要设备,并对工艺流程,设备结构作合理的改进,建立起制取多晶硅的新系列。通过一年来的生产实践表明:精馏产品中重金属杂质及硼含量明显下降1～2个数量级,多晶硅质量有大幅度提高。
采用镍基耐蚀合金新材质改进多晶硅生产设备及其工艺
【摘 要】
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采用镍基耐蚀合金新材质,设计制造多晶硅生产主要设备,并对工艺流程,设备结构作合理的改进,建立起制取多晶硅的新系列。通过一年来的生产实践表明:精馏产品中重金属杂质及硼
【机 构】
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峨嵋半导体材料研究所,
【出 处】
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稀有金属
【发表日期】
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1983年05期
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