【摘 要】
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本文详细介绍了FLK-150型反应离子刻蚀机的工作原理、设计计算、性能指标、结构特点及实验结果,并对气体流型、排气系统等进行了讨论.
This paper introduces the working p
【机 构】
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四川压电与声光技术研究所,四川压电与声光技术研究所
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本文详细介绍了FLK-150型反应离子刻蚀机的工作原理、设计计算、性能指标、结构特点及实验结果,并对气体流型、排气系统等进行了讨论.
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