Nano-sized Thin Films Fabricated by Ion Beam Sputtering and Its Properties

来源 :武汉理工大学学报：材料科学英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：show20090907

【摘要】

：

<正>Nanoscale thick amorphous Ni-Cr alloy thin films were fabricated by low-energy ion beam sputtering technology:then the as-deposited samples experienced rapi

【作者】

：

ZHOU Jicheng YAN Jianwu TIAN L

【机构】

：

SchoolofPhysicsScienceandTechnology

【出处】

：

武汉理工大学学报：材料科学英文版

【发表日期】

：

2007年4期

【关键词】

：

纳米薄膜离子束沉积薄膜 NICR ion beam sputtering deposition film rapid thermal process nan

【基金项目】

：

Funded by the National Natural Science Foundation of China （No.60371046）

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<正>Nanoscale thick amorphous Ni-Cr alloy thin films were fabricated by low-energy ion beam sputtering technology:then the as-deposited samples experienced rapid thermal process to realize the transformation from amorphous to crystalline state.The fi

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