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为提高硅微无阀泵和空间微推进器的性能,采用微电子机械工艺在硅片上加工出不同长度、不同喉部宽度、断面形状为矩形的变截面微管道,实验测量微管道内氮气的流量特性,分析不同因素对流动特性的影响.研究发现,相同变截面微管道,扩张方向的性能好于收缩方向;不同变截面微管道,随着扩张角、等直段长度、宽度的不断增加,流动性能逐渐提高.