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在实证主义哲学的发展史上，马赫的要素及要素一元论思想始终占有非常重要的地位。一方面，他的自然科学背景使他的哲学主张有了深厚的经验基础和较强的说服力，因而他的思想被看作超越了传统哲学的范畴；另一方面，他的思想是维也纳学派的直接思想来源，逻辑经验主义的产生和发展都与马赫的要素和要素一元论思想有着密切的关系。