LSC—Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备的研制

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【摘要】

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<正> 一、前言 LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备系我中心为国家'七五'攻关项目(75-70-05-15)专题而专让设计制造的一台线列式七室连续沉积设备,该设备于1991年3月3

【作者】

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李求恕

【机构】

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中国科学院沈阳科学仪器研制中心

【出处】

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现代科学仪器

【发表日期】

：

1992年1期

【关键词】

：

非晶硅太阳能电池设备研制

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<正> 一、前言 LSC-Ⅰ型PCVD非晶硅太阳能电池设备系我中心为国家'七五'攻关项目(75-70-05-15)专题而专让设计制造的一台线列式七室连续沉积设备,该设备于1991年3月30日通过了国家教委鉴定。评审专家一致认为,该设备结构新颖、设计合理、性能优良、技术指标先进、开发潜力大,为大面积薄膜器件的

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