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1测试背景MEMS技术应用使得金属氧化物(MOX)气体传感器在晶圆级大规模生产中得以广泛应用,大大降低了硅晶圆制造的成本。气体传感器的功能是对一氧化碳(CO)和各种挥发性有机化合物(如:如乙醇、丙酮和甲苯)进行精确测量。主要应用于健康和安全方面,包括环境监测、生物研究、工业控制、便携式酒精测量仪和家庭空气监测系统等。