【摘 要】
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这种TPU泡沫适合用作半导体芯片镜面的抛光垫，它的使用寿命高于常规PU泡沫抛光垫。这种泡沫的密度为0．5—1．0(最好为0．65—0．85)g／cm，泡孔尺寸为5—200(最好为20—150)μm，ASIS—C硬
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这种TPU泡沫适合用作半导体芯片镜面的抛光垫，它的使用寿命高于常规PU泡沫抛光垫。这种泡沫的密度为0．5—1．0(最好为0．65—0．85)g／cm，泡孔尺寸为5—200(最好为20—150)μm，ASIS—C硬度(U)不小于90(最好97以上)。所采用的TPU是用一种高聚物多元醇、一种有机二异氰酸酯和一种扩链剂经反应得到的，其中的异氰酸酯氮原子不低于6％，
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