【摘 要】
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基于紫外光刻工艺和微纳米结构转印技术制作出了一种MEMS仿生疏水表面,表面材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS)。首先旋涂SU-8胶,利用紫外光刻技术制作出微型孔阵列模具,然后浇铸PDM
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学电子测试技术重点实验室,
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基于紫外光刻工艺和微纳米结构转印技术制作出了一种MEMS仿生疏水表面,表面材料为聚二甲基硅氧烷(PDMS)。首先旋涂SU-8胶,利用紫外光刻技术制作出微型孔阵列模具,然后浇铸PDMS,固化后剥离,形成具有高粗糙度的PDMS薄膜,通过提高粗糙度改善PDMS表面的疏水性能。采用共聚焦显微镜和接触角仪表征其形貌和疏水性能,与原始的PDMS表面相比,该仿生功能表面的疏水性能得到显著改善,静态接触角增幅高达35.7%。此方法制作仿生疏水表面工艺简单、周期短、成本低且各参数易于控制。
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