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本文介绍了一种基于数字波面干涉的平面度测试方法,该方法基于菲索干涉仪结构,通过数字CCD采集单帧干涉图像,运用zernike函数基于单帧图像拟合被测平面三维面型,以PV值综合评价整体平面度,区别于传统的等厚干涉仪与移相干涉测试方法.经验证此方法正确可行,测试数据准确可靠.
基于数字波面干涉的平面度测试方法
【摘 要】
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本文介绍了一种基于数字波面干涉的平面度测试方法,该方法基于菲索干涉仪结构,通过数字CCD采集单帧干涉图像,运用zernike函数基于单帧图像拟合被测平面三维面型,以PV值综合评
【机 构】
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江苏省计量科学研究院,南京,210023
【出 处】
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计量技术
【发表日期】
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2017年7期
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