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<正> 在各种不同的激光中,Nd;YAG激光用作电子工业微加工工具历史最长。最近,由于准分子激光技术的发展,促进了新型准分子微加工工具的发展。这种准分子激光工具可用于包括半导体、医学、微电子工业在内的许多工业领
准分子激光用于微加工
【摘 要】
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<正> 在各种不同的激光中,Nd;YAG激光用作电子工业微加工工具历史最长。最近,由于准分子激光技术的发展,促进了新型准分子微加工工具的发展。这种准分子激光工具可用于包括半
【出 处】
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国外激光
【发表日期】
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1989年5期
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