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在直径25 mm的石墨垫上镀膜或粘贴制作微定位标记,进行SEM-SEM、SIMS-SIMS、SEM-SIMS之间的微粒定位.SEM-SEM之间的微粒定位偏差约为10 μm,而SEM-SIMS和SIMS-SIMS之间的微粒定位精度偏差约为15 μm.实验表明:粘贴制作微定位标记和矩阵定位算法的组合是一种简便、适应性强、成本低和有效的微粒定位和再定位方法.