TCO镀膜玻璃生产线真空系统的研制

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本文简述TCO镀膜玻璃生产线真空系统的设计和制造问题,利用SolidWorks软件计算真空腔体的受力状况,对腔体薄弱处,采取焊接井字槽型筋的方法进行加固,达到了既节约整体板材又满足腔体强度刚性要求的目的。根据真空度和工艺要求的不同,将整条镀膜线真空腔体分别设计成不同功能模块,如进口室、出口室、缓冲室、传送室、反应溅射室、过渡隔离室、直流溅射室、冷却室,从而提高了设备可靠性和真空度,并提高了工艺参数的控制水平,为保证产品质量创造了条件。
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