【摘 要】
：
化学机械干式研磨的最大去除率产生于化学固相反应与机械作用达到平衡时。建立了固相反应转化率的数学模型,以全面分析其影响因素。从影响因素中选择4个主要参数,展开固结SiO
【机 构】
：
浙江工业大学超精密加工研究中心,杭州职业技术学院友嘉机电学院
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(51575492,51605440,U1401247),中国博士后科学基金资助项目(2017M621966).
论文部分内容阅读
化学机械干式研磨的最大去除率产生于化学固相反应与机械作用达到平衡时。建立了固相反应转化率的数学模型,以全面分析其影响因素。从影响因素中选择4个主要参数,展开固结SiO2磨料磨具研磨蓝宝石的试验研究。试验结果表明,按影响显著程度由高到低排列的4个参数分别为磨具转速、载荷、磨料粒径、磨料与结合剂的质量百分比,所研究范围内的化学机械作用最优参数组合是:粒径45μm,百分比30%,载荷0.6MPa,转速150r/min。
其他文献
服务型制造是工业化进程中制造与服务融合发展的一种新型产业形态。制造业与服务业的深度融合,必须对生产者与消费者的角色进行重新定位,对生产者与生产者、生产者与消费者之
中国北方工业集团西安电子工程研究所始建于1967年9月，是我国唯一的兵器雷达专业研究所。经过近40年的发展，已经成为一个集微波、电子、通讯、信息、机电等高新技术于一体的综
人与人之间的交往是当代社会学家剖析现代生活、反思人类在发展过程中的自我迷失、探询生活本真意义的一个重要视角。师生交往是教育实践范畴的重要内容之一 ,它既是学校教育
7月8日，由昌飞公司生产的第100架S-92尾斜梁下架。S-92直升机系美国西科斯基公司采取全球合作的形式生产的新型11吨级多用途直升机，该机于1998年12月在美国佛罗里达洲首飞。
2006年4月22日，“军工民用产业现状与发展调查分析”课题组在京就工作进展情况进行了研究。目前此项工作进展顺利，即将正式转入调研阶段。
目的:使用nutritionDay调查问卷评估住院病人营养状况。方法:用nutritionDay调查问卷收集2014年11月6日我院住院病人的基本信息和饮食情况。营养不良的定义为体质量指数(BMI)
两排简易泥瓦房和茅棚食堂组成“U”字形。食堂墙上挂有一面小黑板,上面时有“通知”类文字。自然,食堂前的空地成了众民办教师的娱乐场所,天天颇为热闹。好心人老朱远远走来
自然教育是卢梭教育思想的基础和核心,深入理解自然教育理论并将其应用到中小学生家庭教育实践中,可采取以下措施:营造良好的家庭环境,构建家庭教育多维发展目标;确立孩子主
为了进一步做好《国防科工委关于非公有制经济参与国防科技工业建设的指导意见》（以下简称《指导意见》）的贯彻落实工作，中国和平利用军工技术协会与四川省国防科工办于2007年6
现代远程开放教育的办学形式、教学模式是基于远程、开放的环境下，充分运用现代电子信息技术和网络技术，以个别化学习与协作学习相结合所构建的教学活动形式。由于教育的大众化，入学门槛低，学生基础参差不齐，学习条件、态度、方式也各不相同，加之面授辅导时间又少，直接影响本课程教学质量的提高。 为此，本文在教学实践基础上，结合教学过程中遇到的问题及采取的对策，进行积极探索与深入思考。以期远程开放教育教学质量和