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利用数学软件MATLAB,对三维中的向量进行插值计算.根据硅各向异性腐蚀特点,构造出了一个完整的硅各向异性腐蚀速率图.模拟结果与已有的实验数据进行了比较,说明这种方法可以用来模拟硅各向异性腐蚀速率.
硅各向异性腐蚀速率图的模拟
【摘 要】
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利用数学软件MATLAB,对三维中的向量进行插值计算.根据硅各向异性腐蚀特点,构造出了一个完整的硅各向异性腐蚀速率图.模拟结果与已有的实验数据进行了比较,说明这种方法可以
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2002年1期
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