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针对差频式微机械加速度计的工作原理对其结构进行了建模和仿真,通过有限元仿真的结果证明设计结构是合理的,最终得到一个较理想的加速度计结构。
差频式微机械加速度计的建模与仿真
【摘 要】
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针对差频式微机械加速度计的工作原理对其结构进行了建模和仿真,通过有限元仿真的结果证明设计结构是合理的,最终得到一个较理想的加速度计结构。
【机 构】
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中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051,太原030051
【出 处】
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弹箭与制导学报
【发表日期】
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2005年S8期
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