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矩形截面电容式微加速度计气膜阻尼研究
矩形截面电容式微加速度计气膜阻尼研究
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Evilkonata
【摘 要】
:
基于滑流修正的气体压膜雷诺方程,分析了矩形截面电容式微加速度计的敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼;指出了质量块受到的气膜阻尼力不仅与尺寸和速度有关,还与动量协
【作 者】
:
王卫东
贾建援
【机 构】
:
西安电子科技大学机电工程学院
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2005年z2期
【关键词】
:
电容式加速度计
气膜阻尼
雷诺方程
阻尼系数
Capacitive accelerometer Gas film damping Reynolds equati
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基于滑流修正的气体压膜雷诺方程,分析了矩形截面电容式微加速度计的敏感质量块在轴向运动中受到的气膜阻尼;指出了质量块受到的气膜阻尼力不仅与尺寸和速度有关,还与动量协调系数有关;得到了阻尼力和阻尼系数的简化解析解.
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