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SOI高温电路—突破硅集成电路的高温应用限制
SOI高温电路—突破硅集成电路的高温应用限制
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lllllllllllllvvvvvvv
【摘 要】
:
常规的体硅基础电路通常只能工作在200℃以处,SOI电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求,并分析了SOI电路在高温下的电学特性,讨论了为将SOI高温电路商业化,应
【作 者】
:
多新中
张苗
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所信息功能材料实验室
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
1998年4期
【关键词】
:
SOI电路
体硅电路
硅集成电路
SOI circuit
Bulk silicon circuit.
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常规的体硅基础电路通常只能工作在200℃以处,SOI电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求,并分析了SOI电路在高温下的电学特性,讨论了为将SOI高温电路商业化,应当解决的一些技术问题。
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