论文部分内容阅读
常规的体硅基础电路通常只能工作在２００℃以处，ＳＯＩ电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求，并分析了ＳＯＩ电路在高温下的电学特性，讨论了为将ＳＯＩ高温电路商业化，应当解决的一些技术问题。
SOI高温电路—突破硅集成电路的高温应用限制
【摘 要】
：
常规的体硅基础电路通常只能工作在２００℃以处，ＳＯＩ电路的突出特点之一是可以工作在高温环境。简述了市场对高温电路的需求，并分析了ＳＯＩ电路在高温下的电学特性，讨论了为将ＳＯＩ高温电路商业化，应
【机 构】
：
中国科学院上海冶金研究所信息功能材料实验室
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
1998年4期
其他文献
本文报导了用ＳＦ＿６＋Ｎ＿２混合气体反应离子刻蚀Ｓｉ及其剖面的实验结果，研究了在刻蚀时，混合气体的成份和射频功率密度对Ｓｉ的蚀速影响以及Ｓｉ的负载效应，通过实验得到了一种获得Ｓｉ的腐蚀垂直剖面的方法
早餐在三餐中很重要，所以我有自己的早餐原则：一是有足量主食（我一天三餐的热量分配粗估为早餐占40％，中、晚各占30％）；二是保证丰富优质蛋白质食品；三是一定量蔬果；四是少许坚果（亦可做上
介绍了用电子束蒸发制作ＷＯ３气敏薄膜，溅射掺Ａｕ、膜的后退火等工艺。着重讨论了ＷＯ３膜的稳定化过程。
平邑县疾控中心日前按照《关于贯彻落实鲁厅字[2014]19号精神做好领导干部带头在公共场所禁烟工作的通知》要求，在县人大和县政协“两会”召开之际，在会场通过悬挂条幅、摆放展
本文对空气中应用扫描隧道显微镜进行的纳米级加工进行了研究。
本文介绍了二级透镜亚微米聚焦离子束系统中的合轴技术和聚焦检测技术，包括合轴的调整及其检测技术的原理和具体方法、离子束聚焦状态的跟踪检测技术，利用此技术可以快速准确地