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本文就 P~+重掺杂硼扩散自动终止腐蚀技术进行了研究,得到了腐蚀速率比随杂质浓度变化的曲线。并用氧化-还原反应理论对实验结果进行了解释。
硅各向异性腐蚀中自动终止技术的研究
【摘 要】
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本文就 P~+重掺杂硼扩散自动终止腐蚀技术进行了研究,得到了腐蚀速率比随杂质浓度变化的曲线。并用氧化-还原反应理论对实验结果进行了解释。
【机 构】
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西安电子科技大学微电子研究所,西安电子科技大学微电子研究所
【出 处】
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西安电子科技大学学报
【发表日期】
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1991年4期
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