【摘 要】
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沟槽栅场终止型代表了绝缘栅双极型晶体管（IGBT）的最新结构.由于沟槽栅结构与平面栅结构在基区载流子输运、栅极结电容计算等方面存在较大的不同,沿用平面栅结构的建模方法不可
【机 构】
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海军工程大学舰船综合电力技术国防科技重点实验室
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沟槽栅场终止型代表了绝缘栅双极型晶体管（IGBT）的最新结构.由于沟槽栅结构与平面栅结构在基区载流子输运、栅极结电容计算等方面存在较大的不同,沿用平面栅结构的建模方法不可避免会存在较大的偏差.基于对沟槽栅场终止型IGBT结构特点及模型坐标系的分析,考虑载流子二维效应将基区分成PNP和PIN两部分,根据PIN部分的沟槽栅能否被PNP部分的耗尽层覆盖分析了栅极结电容计算方法,提出一种沟槽栅场终止型 IGBT 瞬态数学模型,并进行仿真与实验验证.
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