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永磁薄膜是相关电子器件及系统小型化、集成化的关键材料。首先概括介绍了永磁薄膜的常用制备技术,包括电沉积、溅射、激光脉冲沉积等方法。在此基础上,总结了各种永磁薄膜(金属合金、铁氧体、稀土化合物等)的国内外研究进展,以及在相关器件上的应用。最后展望了永磁薄膜的发展趋势和前景。
永磁薄膜材料的研究进展
【摘 要】
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永磁薄膜是相关电子器件及系统小型化、集成化的关键材料。首先概括介绍了永磁薄膜的常用制备技术,包括电沉积、溅射、激光脉冲沉积等方法。在此基础上,总结了各种永磁薄膜(
【机 构】
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西南应用磁学研究所
【出 处】
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磁性材料及器件
【发表日期】
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2016年01期
【基金项目】
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总装武器装备预研基金重点项目(9140A23070512DZ19071)
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