纳米厚度贫铀/Au多层膜的制备及特性研究

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理论和实验研究表明,纳米厚度周期调制的贫铀(DU)/Au多层膜材料具有高效的激光X射线转换效率.采用交替磁控溅射制备纳米厚度的DU/Au平面多层周期结构,通过白光干涉仪、扫描电子显微镜、X射线光电子能谱对DU/Au多层膜的几何参数、表面形貌、成分以及界面形貌进行表征.实验结果表明:8 nm为Au连续成膜的厚度阈值,结合理论计算最优化原子配比,选取DU层厚度为30 nm、Au层厚度为8 nm的调制周期结构;实测周期厚度为37 nm;扫描电子显微镜照片显示DU/Au分层明显;X射线光电子能谱深度刻蚀分析表明DU/Au界面处存在扩散,DU,Au,O三者原子比为73:26:1;由于团簇效应,Au原子4f电子结合能向高能端移动,没有观察到DU相应的电子结合能移动现象.
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