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给出了一种电容式硅微机械麦克风的设计和制造方法。该微机械麦克风在单一硅片上制作，麦克风的两个电极由1个3层复合敏感膜和1个带有通气孔的金属铜底板构成，敏感膜与底板之间采用牺牲层技术形成空气问隙。测试结果表明，该硅微机械麦克风适合在工业界推广应用。
一种电容式硅微机械麦克风的设计与制造
【摘 要】
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给出了一种电容式硅微机械麦克风的设计和制造方法。该微机械麦克风在单一硅片上制作，麦克风的两个电极由1个3层复合敏感膜和1个带有通气孔的金属铜底板构成，敏感膜与底板之间
【机 构】
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浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室
【出 处】
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机电一体化
【发表日期】
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2008年4期
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