220 GHz InP DHBT单片集成功率放大器

来源 :固体电子学研究与进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jundy123
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<正>南京电子器件研究所开发了0.5μm InP DHBT工艺,器件截止频率达到500 GHz以上,击穿电压大于4 V。基于该工艺,研制出220 GHz单片集成功率放大器,饱和输出功率20 mW,功率增益大于10 dB。图1和图2分别展示了220 GHz功放的实物图和测试结果。
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