新型声表面波谐振式压力传感器的研制

来源 :仪表技术与传感器 | 被引量 : 7次 | 上传用户:michael047
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文介绍了一种新型的声表面波谐振式压力传感器,压力敏感元件为声表面波谐振器,并组成差动电路形式进行温度补偿。敏感膜片采用全石英一体化封装技术,消除了传统粘贴式封装结构所带来的迟滞、重复性等误差,极大的提高了压力测量的精度。由于声表面波器件采用半导体工艺制作,易于批量生产,降低了成本,具有极大的实际应用价值和意义。文中介绍了该传感器的工作原理,并给出了具体的性能指标。
其他文献
【本刊讯】4月11—15日,第九届中国数控机床展览会(CCMT2016)在上海新国际博览中心举行。本届展会由中国机床工具工业协会主办,展出总面积达12万平方米.比上届CCMT展会增加20%。来
研究了基于机器人手臂关节笛卡尔空间的轨迹规划问题。通过在MATLAB软件环境下对该算法的计算机仿真测试试验,使规划的轨迹路径连续而平滑,从而保证机器人运动的平稳性,验证
文中研究了油管局部缺陷和壁厚减薄缺陷的漏磁场检测原理。研制了一种新型的井口式油管缺陷检测仪,缺陷检测传感器的组合式探头具有自动张合、浮动和随动功能,能够满足油管在线
记忆中的清明,总是飘着一丝香烛纸钱的余馨,那生我养我的家乡小镇,清明就是一场盛大的祭典:在那古老的族谱,那香火缭绕的坟地,那荡起的秋千和那飘飞的风筝……
泗水县农机安全监理站紧密联系监理工作实际,以“心系机手,志在富民”为出发点,用文明服务,优质服务打造亮丽的服务形象。实施接接待服务“零距离”、工作流程“零障碍”、执行政
文中阐述了一种恨能输入数字显示仪的设计方法,详细分析了各种分度号的温度传感器输入电路、热电偶冷端温度补偿方法、程控放大器、A/D转换、D/A转换、软件线性化的实现过程等。该仪
为检定纯弯矩梁型应变计灵敏系数测定装置的精度。国际上60年代 以来都是从应变定义出发,总想直接测定标定梁表面的准确应变值。由于测量原理不理想和仪表分辨精度不够高等因素
今年以来,胶州市以创建农机安全“十百千”为契机,大力开展农机安全整治活动。由于领导重视,措施得力,群众理解支持,使该项活动开展得有声有色,成效卓著。活动中,他们注重加强宣传力
文中介绍了一种基于PC机的便携式低频振动测量仪,给出了传感器原理以及仪器硬件,软件的实现方法。
由于中国这个世界最大买家的需求依然不足,铁矿石价格在近期跌至了五年半以来的低位。有分析师指出,很多贸易商都选择观望,希望得到价格前景的更大明确性。中国的钢铁生产在