用作SAW器件的Li_2B_4O_7单晶的生长和性能

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用提拉技术沿X轴和Z轴成功地生长了直径达45mm的Li_2B_4O_7,单晶.确定了它基本的物理和化学性能,并且从理论上和通过实验研究了不同的表面取向及SAW传播方向的科SAW性能.发现旋转X轴(不同角度)切型和Z轴传播方向有几种适于SAW谐振器和窄带带通SAW滤波器的有用的基片取向,其SAW传播延迟时间是温度的抛物线函数,SAW耦合系数k~2约为1%.当SAW在旋转X-28°切片上沿Z方向传播时,20℃时的延迟温度系数(TCD)为零,二次TCD为0.27ppm/℃~2,k~2为0.8%,SAW速度V_s为3470m/s.体波假信号响应比SAW基频响应低20dB. The Li 2 B 4 O 7, single crystal with a diameter of 45 mm was grown successfully along the X-axis and the Z-axis using the pulling technique. Its basic physical and chemical properties were determined and different surface orientations and SAW propagation directions were theoretically and experimentally studied SAW performance was found to be useful.It was found that there are several useful substrate orientations for SAW resonators and narrowband bandpass SAW filters with rotational X-axis (different angles) tangent and Z-axis propagation directions with SAW propagation delay times of temperature Parabolic function, the SAW coupling coefficient k ~ 2 is about 1% .When the SAW propagates in the Z direction on a rotating X-28 ° slice, the delay temperature coefficient (TCD) at 20 ° C is zero and the secondary TCD is 0.27 ppm / ℃ ~ 2, k ~ 2 is 0.8%, SAW velocity V_s is 3470m / s.The body wave glitch response is 20dB lower than the SAW fundamental frequency response.
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