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本文报道了低压气相直流辉光放电沉积a-C:H膜和膜的部分物理、化学性质.这些性质非常接近于硅电池AR膜的最佳要求.在硅单晶太阳电池表面沉积1000(?)左右的a-C:H膜作为AR膜,在部分电池上获得了与SiO AR膜可比的结果.
a—C：H做硅太阳电池AR膜的研究
【摘 要】
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本文报道了低压气相直流辉光放电沉积a-C:H膜和膜的部分物理、化学性质.这些性质非常接近于硅电池AR膜的最佳要求.在硅单晶太阳电池表面沉积1000(?)左右的a-C:H膜作为AR膜,在
【机 构】
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内蒙古大学物理系,内蒙古大学物理系
【出 处】
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内蒙古大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1992年2期
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