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期刊论文
RF MEMS开关及其抗连续波烧毁功率的测试与分析
RF MEMS开关及其抗连续波烧毁功率的测试与分析
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:asdf303
【摘 要】
:
MEMS开关的功率能力是MEMS开关使用中必须考虑的一个指标,本文测试了我所研制的RF MEMS开关的抗连续波烧毁功率性能,其抗连续波烧毁功率达到35.1dBm.解剖分析了烧毁样品,对功
【作 者】
:
杨文钊
吕苗
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第十三研究所
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2004年5期
【关键词】
:
RF
MEMS开关
抗连续波烧毁功率
性能测试
RF MEMS switches
power handling capacity
CW
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MEMS开关的功率能力是MEMS开关使用中必须考虑的一个指标,本文测试了我所研制的RF MEMS开关的抗连续波烧毁功率性能,其抗连续波烧毁功率达到35.1dBm.解剖分析了烧毁样品,对功率烧毁机理进行了进一步的讨论.
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