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本文仅对公开发表的IBM研究中心的VS_1定位系统、IBM分公司的EL_1定位系统、Bell实验室的EBES定位系统和日本的电子束定位系统进行简略综述、比较,可供搞半导体设备的同志参考。
电子束制版自动定位系统
【摘 要】
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本文仅对公开发表的IBM研究中心的VS_1定位系统、IBM分公司的EL_1定位系统、Bell实验室的EBES定位系统和日本的电子束定位系统进行简略综述、比较,可供搞半导体设备的同志参
【机 构】
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中国科学院电工研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1990年3期
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