【摘 要】
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硅基共面波导(CPW)是毫米波集成电路设计的基础元件之一.阐述了硅基共面波导(CPW)的机理和等效电路模型的设计方法,建立了基于硅衬底的标准90nm CMOS工艺的毫米波CPW模型和参
【机 构】
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杭州电子科技大学射频电路与系统教育部重点实验室,
【出 处】
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杭州电子科技大学学报(自然科学版)
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硅基共面波导(CPW)是毫米波集成电路设计的基础元件之一.阐述了硅基共面波导(CPW)的机理和等效电路模型的设计方法,建立了基于硅衬底的标准90nm CMOS工艺的毫米波CPW模型和参数提取算法,通过仿真和实测数据对比发现,模型在0~66GHz内有效.
Silicon-based coplanar waveguide (CPW) is one of the basic components in the design of millimeter-wave integrated circuits. The mechanism of CPW and the design method of equivalent circuit model are described. The standard silicon substrate based 90nm CMOS millimeter-wave CPW model and parameter extraction algorithm, through the simulation and measured data comparison found that the model is valid within 0 ~ 66GHz.
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