EACVD中的Hα谱线与最佳生长条件

来源 :光谱学与光谱分析 | 被引量 : 0次 | 上传用户：song52535

【摘要】

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采用蒙特卡罗方法,模拟了CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程.考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分

【作者】

：

董丽芳王志军尚勇

【机构】

：

河北大学物理科学与技术学院

【出处】

：

光谱学与光谱分析

【发表日期】

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2005年10期

【关键词】

：

化学气相沉积氢原子发射谱线最佳实验条件 EACVD Atomic hydrogen emission line Optimum experimental

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采用蒙特卡罗方法,模拟了CH4/H2混合气体为源气体的EACVD中的氢原子发射过程.考虑了电子与H2的弹性碰撞及振动激发、分解、电子激发、相应于Hα,Hβ,Hγ谱线的激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程;与CH4的碰撞考虑了弹性动量传输及振动激发、分解、电子激发、电离及分解电离等非弹性碰撞过程.研究了不同实验条件下产生的H,CH3的数目与Hδ谱线强度的关系,给出了一种通过Hα谱线来推断生长金刚石薄膜的最佳实验条件的方法.

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