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应用蒙特卡罗技术对低真空中六极离子导向器的性能进行了计算机模拟研究。模拟计算跟踪每个离子的轨迹直至它逃离感兴趣的区域或达到终点。离子在低真空六极射频电场中受到来自电场和剩余气体两方面的作用力，这两个力对离子的运动影响在模拟中分开计算。前者用龙格－库塔方法求解运动微分方程，后者体现为离子与气体分子之间的两体撞，ＲＳ模型和ＭＳＷ模型用于计算碰撞过程。