微机械系统中精密弹性微动工作台的研制及其精度分析

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研制了一种低成本、高精度的双层精密弹性微动 台及其闭环控制系统,并对其精度进行了分析,试验结果表明其分辨力优于0.1μm,定位优于±0.5μm可作为一般微机械系统中的精密工作台。
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