【摘 要】
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针对微米与亚微米器件对自对准硅化物技术的要求,本文报道了沟道长度为1微米的自对准CoSi_2硅化物化MOSFET(SALICIDE)技术的实验结果.首先研究了CoSi_2薄膜形成动力学和膜性
【机 构】
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北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所,北京大学微电子学研究所 北京100871,北京100871,北京100871,北京100871
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针对微米与亚微米器件对自对准硅化物技术的要求,本文报道了沟道长度为1微米的自对准CoSi_2硅化物化MOSFET(SALICIDE)技术的实验结果.首先研究了CoSi_2薄膜形成动力学和膜性质,随后着重研究并讨论了与自对准CoSi_2技术有关的一些重要问题,包括各向异性刻蚀、选择腐蚀和栅侧壁氧化物上的桥接试验等,最后给出了 1μm沟道长度的自对准 CoSi_2 SALICIDE MOS晶体管的电学性能实验结果.
In order to meet the requirement of the salicide technology for the self-aligned silicide of micrometer and sub-micron devices, this paper reports the experimental results of SALICIDE with a channel length of 1 μm.Firstly, the formation kinetics of CoSi_2 thin films and Then, some important issues related to the self-aligned CoSi2 technology are emphatically studied and discussed, including anisotropic etching, selective etching and bridging test on the gate sidewall oxide. Finally, a 1μm channel length Self-Aligned CoSi_2 SALICIDE MOS Transistor Electrical Performance Experimental Results.
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