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对Nd ∶YAG激光回馈干涉仪的稳频进行了研究。分析了温度和泵浦功率对全内腔Nd ∶YAG微片频率的影响及频率变化对仪器测量误差的影响。通过设计合理的结构并采用温控的方法来实现稳频的目标,实验中对温度、频率、输出功率的关系进行了实验分析,并对装置和系统进行了优化。稳频效果明显减小了仪器的测量误差,改善了仪器的工作性能,可以满足高精度的测量要求。