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基于MSP430的非接触式光电调平系统设计
基于MSP430的非接触式光电调平系统设计
来源 :仪表技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zjlong8888
【摘 要】
:
介绍一种基于超低功耗MSP430的非接触式光电调平系统设计,通过光电位置传感器PSD S1880采集调平光电信号,经前置放大和信号调理后反馈给调平执行机构,实现0.08m rad的调平精
【作 者】
:
周成刚
【机 构】
:
上海科学院集成电路制造装备研究中心
【出 处】
:
仪表技术
【发表日期】
:
2009年11期
【关键词】
:
MSP430
PSD
激光
MSP430 PSD laser
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介绍一种基于超低功耗MSP430的非接触式光电调平系统设计,通过光电位置传感器PSD S1880采集调平光电信号,经前置放大和信号调理后反馈给调平执行机构,实现0.08m rad的调平精度。
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