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以静电学基本原理、场致发射原理为基础,用有限元法在求得圆锥形、楔形阴极真空微电子三极管内静电场各点场强的前提下,考虑以往计算中忽略的各电极之间、栅极厚度对器件电容的影响进行极间电容的计算.通过计算多导体系统电荷密度较为精确地求得了圆锥形、楔形阴极真空微电子三极管的极间电容,讨论了器件各几何参数与电容的关系,对器件的优化设计与高频应用具有指导作用.模拟结果与已报道的实验结果符合较好.